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羅茨真空泵工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內,再經排氣口排出。由于吸氣后空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉子頂部轉過排氣口邊緣, 空間與排氣側相通時,由于排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返沖到空間中去,使氣體壓強突然增加。當轉子繼續(xù)轉動時,氣體排出泵外。
羅茨真空泵工作原理圖
如圖為羅茨真空泵工作原理圖,當轉子由0°轉到180°的抽氣過程。在0°位置時,下轉子從泵入口封入體積的氣體。當轉到45°位置時,該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高,引起一部分氣體返沖過來。當轉到90°位置時,下轉子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時,上轉子也從泵入口封入體積的氣體。當轉子繼續(xù)轉到135°時,上轉子封入的氣體與排氣口相通,重復上述過程。轉子主軸旋轉一周共排出四個體積的氣體。
羅茨真空泵工作原理決定了其在使用的使用,需要用到前級泵。關于羅茨真空泵選型問題,如果您想要繼續(xù)了解,歡迎來電咨詢。